羅茨真空泵：概念、優(yōu)點(diǎn)及應(yīng)用

羅茨真空泵，一種旋轉(zhuǎn)式容積真空泵，其設(shè)計靈感源自羅茨鼓風(fēng)機(jī)。這種泵于1944年首次在德國問世，主要用于在10～1000Pa壓力范圍內(nèi)的真空熔煉系統(tǒng)，作為機(jī)械增壓泵使用。

羅茨真空泵根據(jù)工作壓力范圍的不同，可分為直排大氣的低真空羅茨泵、中真空羅茨泵（機(jī)械增壓泵）以及高真空多級羅茨泵。在國內(nèi)，中真空羅茨泵（以下簡稱羅茨泵）的使用量最大。

羅茨泵相較于其他油封式機(jī)械泵，具有以下顯著特點(diǎn)：

• 在較寬的壓力范圍內(nèi)，羅茨泵能保持較大的抽速；

• 轉(zhuǎn)子具有良好的幾何對稱性，因此振動小，運(yùn)轉(zhuǎn)平穩(wěn)。轉(zhuǎn)子間及轉(zhuǎn)子和殼體間均有間隙，無需潤滑，摩擦損失小，可以大幅降低驅(qū)動功率，從而實(shí)現(xiàn)較高轉(zhuǎn)速；

• 泵腔內(nèi)無需用油密封和潤滑，可以減少油蒸氣對真空系統(tǒng)的污染；

• 泵腔內(nèi)無壓縮，無排氣閥，結(jié)構(gòu)簡單、緊湊，對被抽氣體中的灰塵和水蒸汽不敏感；

• 壓縮比較低，對氫氣抽氣效果差；

• 轉(zhuǎn)子表面為形狀較為復(fù)雜的曲線柱面，加工和檢查比較困難。

近年來，羅茨泵在國內(nèi)外得到了快速發(fā)展，已在冶煉、石油化工、電工、電子等行業(yè)得到廣泛應(yīng)用。