鮑斯渦旋干泵IDSP36真空泵在真空檢漏和He質(zhì)譜檢漏方面的應(yīng)用

鮑斯真空泵渦旋干泵IDSP36是一種高新技術(shù)產(chǎn)品，具有運(yùn)行成本低、工作壽命長(zhǎng)、可靠性高、噪音低等顯著特點(diǎn)[1]。該產(chǎn)品在真空檢漏和He質(zhì)譜檢漏方面有著廣泛的應(yīng)用。

渦旋干泵IDSP36的特點(diǎn)和應(yīng)用領(lǐng)域

渦旋干泵IDSP36是一種無(wú)油機(jī)械泵，具有結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單、密封性能好、極限真空高等優(yōu)點(diǎn)[2]。它在以下領(lǐng)域得到廣泛應(yīng)用：

• 普通清潔真空獲得應(yīng)用

• 分子泵前級(jí)泵

• 實(shí)驗(yàn)室真空系統(tǒng)

• 分析儀器

• 真空檢漏/He質(zhì)譜檢漏

• 光束線/高能物理

• 科學(xué)研究

• 臨床醫(yī)療設(shè)備

• 蒸餾/萃取/過(guò)濾

• 激光

• 氣體回收和再循環(huán)

• 半導(dǎo)體（LED/LCD長(zhǎng)晶爐）

• 光伏（單晶爐/多晶爐)

• 鍍膜（PVD/CVD)

• 工業(yè)/電池生產(chǎn)

• 手套箱/排氣臺(tái)

• 電子束焊接/激光焊接[2][3]

干式真空泵的優(yōu)點(diǎn)

干式真空泵相比其他真空泵有以下優(yōu)點(diǎn)：

1. 使用地點(diǎn)不受控制，不需要特定場(chǎng)所進(jìn)行抽真空工作，常用于需要整潔的實(shí)驗(yàn)室中。

2. 沒(méi)有污染，不使用水，也不產(chǎn)生油霧，對(duì)環(huán)保有幫助。

3. 功率小、噪音低、能耗小，體積小巧，易于安裝，維護(hù)簡(jiǎn)單，移動(dòng)方便[4]。

結(jié)論

鮑斯真空泵渦旋干泵IDSP36作為一種高性能的渦旋干泵，在真空檢漏和He質(zhì)譜檢漏方面具有廣泛的應(yīng)用，尤其在實(shí)驗(yàn)室、科學(xué)研究和半導(dǎo)體等領(lǐng)域有著重要作用。

• [1].渦旋干泵 - 鮑斯真空事業(yè)群

• [2].鮑斯渦旋干泵IDSP36 - 蘇州嘉科真空設(shè)備有限公司

• [3].鮑斯渦旋干泵GSP6 - 蘇州嘉科真空設(shè)備有限公司

• [4].氦質(zhì)譜檢漏儀真空泵干式與油泵的區(qū)別-諾益科技 - 知乎專(zhuān)欄

• [5].[PDF] ZQJ-530(G)氦質(zhì)譜檢漏儀使用說(shuō)明書(shū)